The influence of thermal stability on the properties of Cu3N layers synthesized by pulsed magnetron sputtering method
- Afiliacje: SL1, SL1.3
- Data opublikowania (wydrukowania): 2021-08-13
- Impact factor: 2
- Impact factor txt: 2,183
- Strony: 138889
- Wolumin: 735
- Autor: Okrasa S., Wilczopolska M., Strzelecki G.W., Nowakowska-Langier K., Chodun R., Minikayev Roman, Król Krystian, Skowronski L., Namyślak K., Wicher B., Wiraszka A., Zdunek K.
- Tytuł publikacji: The influence of thermal stability on the properties of Cu3N layers synthesized by pulsed magnetron sputtering method
- DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138889
- Rok: 2021
- Czasopismo / konferencja / monografia: Thin Solid Films
