Atomic layer deposition - Editorial
- Afiliacje: ON4, ON4.2
- Data opublikowania (wydrukowania): 2012-07-01
- Impact factor: 1
- Impact factor txt: 1,723
- Strony: 70301
- Wolumin: 27
- Autor: Godlewski Marek
- Tytuł publikacji: Atomic layer deposition - Editorial
- DOI: https://doi.org/10.1088/0268-1242/27/7/070301
- Rok: 2012
- Czasopismo / konferencja / monografia: Semiconductor Science and Technology