Strain in hydrogen and oxygen implanted silicon and SOI structures annealed at high pressure
- Afiliacje: SL1, SL1.3
- Data opublikowania (wydrukowania): 04-10-01
- Impact factor txt: 0,845
- Strony: 181-186
- Wolumin: 328
- Autor: Bąk-Misiuk Jadwiga, Antonova I. V., Misiuk A., Domagała Jarosław Z., Popov V. P., Obodnikov V. I., Hartwig J., Romano-Rodriguez A., Bachrouri A.
- Tytuł publikacji: Strain in hydrogen and oxygen implanted silicon and SOI structures annealed at high pressure
- Rok: 2001
- Czasopismo / konferencja / monografia: Journal of Alloys and Compounds